SJ6000線(xiàn)性位移精度激光干涉測(cè)量?jī)x集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,。

SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高,、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快,、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng),、角度,、直線(xiàn)度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線(xiàn)性鏡組,、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中,，線(xiàn)性鏡組為標(biāo)配,，由線(xiàn)性干涉鏡、線(xiàn)性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M(mǎn)足線(xiàn)性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測(cè)量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

線(xiàn)性測(cè)量配置及使用方法

線(xiàn)性測(cè)量（線(xiàn)性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱(chēng)）配置主要由SJ6000主機(jī),、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元,、線(xiàn)性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成,，可滿(mǎn)足0~80m范圍內(nèi)的線(xiàn)性測(cè)量,。其中，線(xiàn)性測(cè)量包括定位精度測(cè)量,、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等,。

線(xiàn)性鏡組可以針對(duì)不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測(cè)量光路，如下圖：

水平軸的線(xiàn)性測(cè)量示意圖

垂直軸的線(xiàn)性測(cè)量示意圖

SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線(xiàn)性測(cè)量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表,，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值,，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償,，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,。

線(xiàn)性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,，即：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn),，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間,，以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集,。

線(xiàn)性測(cè)量應(yīng)用

SJ6000線(xiàn)性位移精度激光干涉測(cè)量?jī)x廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo),、機(jī)器人,、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備,、線(xiàn)性位移平臺(tái),、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線(xiàn)性測(cè)量,。

在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移,、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移,、速度,、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,，如振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性,、角度、直線(xiàn)度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線(xiàn)性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線(xiàn)度,、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶(hù)設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析,、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

測(cè)量軟件

（1）友好的人機(jī)界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；

（5）支持中文,、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專(zhuān)屬模板定制。

部分技術(shù)規(guī)格

平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應(yīng)直線(xiàn)度鏡組即可

短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組＋垂直度鏡組

直線(xiàn)度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線(xiàn)度測(cè)量和垂直度測(cè)量

懇請(qǐng)注意：因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開(kāi)發(fā)的需要,，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改，恕不另行通知,，不便之處敬請(qǐng)諒解,。

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún),。